Laser-Plasmaabscheidung
(Pulsed
Laser Deposition PLD) von dünnen
Filmen
mittels Excimerlaser LPX 305i |
![PLD lab](../fotos/fotos_klein/PLD_lab_6%25_DSC00759.jpg) |
PLD-G-Kammer
bis 4-Zoll-Substratdurchmesser, Multitargeteinrichtung |
![G-Kammer](../fotos/fotos_klein/G_Kammer_6%25_Dsc00115_gedreht.jpg) |
PLD-M-Kammer
mit 15x15 mm²-Heizer, Multitargeteinrichtung, mit
RF-Radikalenquelle |
![M-Kammer](../fotos/fotos_klein/M_Kammer_6%25_DSC00709.jpg) |
PLD-S-Kammer
mit 4-Zoll-Heizer, Multitargeteinrichtung |
![S_Kammer](../fotos/fotos_klein/S_Kammer_6%25_DSC00215.jpg) |
PLD-E-Kammer
mit Multitargeteinrichtung, 3-Zoll-Heizer, in-situ spektroskopische
Ellipsometrie.
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![E-Kammer](../fotos/fotos_klein/E_Kammer_6%25_DSC00595.jpg) |
PLD-Q-Kammer
für
Gasdrücke im mbar-Bereich, für Nano-Heterostrukturen |
![Q_kammer](../fotos/fotos_klein/Q_Kammer_6%25_DSC00770_beschn.jpg) |
DC-Sputterkammer für Au, Pt, Ti, Cr, Ag,...
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![Sputter](../fotos/fotos_klein/Sputterkammer_10%25_Bild47.jpg) |
Oberflächendiagnostik
mit
Elektronenbeugung RHEED
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![RHEED](../fotos/fotos_klein/RHEED_6%25_DSC00225.jpg) |
Sekundär-Neutralteilchen-Massenspektrometrie
SNMS Leybold INA3 zur Element- und
Tiefenprofilanalytik.
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![SNMS INA3](../fotos/fotos_klein/SNMS_6%25_DSC00804.jpg) |
Oberflächen-Profilometer DEKTAK 3030 |
![Dektak](../fotos/fotos_klein/Dektak_6%25_DSC00806.jpg) |
Scan
der kritischen
Stromdichte von doppelseitigen
Hochtemperatur-Supraleiter-Filmen bis 71 x 75 mm²
Fläche |
![jc scan](../fotos/fotos_klein/jc_scan_6%25_DSC00639.jpg) |
RCL-Messbrücke mit Proben-Temperaturregelung von -35 bis
+85°C |
![RCL](../fotos/fotos_klein/RCL_6%25_DSC00230.jpg) |
Raster-Tunnel-Mikroskop
„Beetle"-STM
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![STM](../fotos/fotos_klein/STM_15%25_vidcap_office314_stm.jpg) |
Sintern bis
1200°C (Kammerofen) und 1800°C (Rohrofen),
Kugelmühlen,
Preßwerkzeuge zur PLD-Targetherstellung,
im Rohrofen auch thermisches Wachstum von ZnO-Nanostrukturen
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![Rohrofen](../fotos/fotos_klein/Rohrofen_5%25_Dsc00554_dreh.jpg) |
Vektorieller
Mikrowellen-Netzwerkanalysator Anritsu-Wiltron 37347A bis 20 GHz.
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![Networkanalyzer](../fotos/fotos_klein/Resonator_MW_10%25_Bild03.jpg) |
Zeiss-Labormikroskop Axiolab mit CCD-Kamera
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![Mikroskop](../fotos/fotos_klein/Zeiss_Mikropskop_10%25_Bild04.jpg) |