Arbeitspaket 6.2 Nanospiralen

Bedingungen wurde so weit entwickelt, dass es möglich ist neuartige Strukturelemente wie beispielsweise Spiralen, Chevrons, „S“- oder „C“-Strukturen mit Dimensionen im Nanometerbereich geordnet zu synthetisieren [1]. Das Anwendungspotenzial dieser chiralen Strukturelemente Das Verfahren der ionen- bzw. laserstrahlgestützten Deposition unter streifenden erstreckt sich von der Photonik und Halbleitertechnologie über die Medizin bis zur Sensorik [2,3]. Es sollen, aufbauend auf der Realisierung dieser Nanostrukturen, regelmäßige dreidimensionale Nanogitter unterschiedlicher Materialien hergestellt und mittels ALD (atomic layer desposition) allseitig beschichtet werden, um letztlich erste Demonstratoren u.a. zum spektralen Schalten von Polarisationsfiltern und zur Realisierung von „drug delivery“ – Systemen zu erstellen. Dazu müssen die Nanostrukturen auf großen Flächen (1 mm² bis 1 cm²) reproduzierbar hergestellt und deren mechanische und optische Eigenschaften umfassend charakterisiert werden. Die Entwicklung der Technologie zur Herstellung der Bauelemente erfordert eine Integration von insbesondere der Elektronenstrahllithographie, diverser Ätz- und Beschichtungsverfahren.

Fig.: Zig-zag Silizium-Nanostrukturen, hergestellt mittels ionenstrahl-gestützter Deposition unter streifendem Einfall.

Arbeitspaket 6.1 Funktionalisierte Nanosäulen

Arbeitspaket 6.3 Untersuchung von Graphen